클래스 100 클린룸 베이킹 오븐 또는 클래스 100 클린룸 건조 캐비닛으로도 알려진 클래스 100 클린룸 건조 오븐은 고온 건조와 클린룸 환경 제어를 통합한 특수 장비입니다. HEPA 고효율 여과 시스템과 방향성 공기 흐름 구성을 통해 작업실은 ISO 6(이전 클래스 100) 청결 표준을 달성합니다. 장비는 층류 수직 또는 수평 공기 흐름 모드를 채택하여 깨끗한 뜨거운 공기가 상단 장착 FFU 장치(0.3μm 입자의 경우 여과 효율 ≥99.99%)에 의해 필터링되고 작업 표면 전체에 고르게 분산됩니다. 또한 자동 에어샤워 정화 모듈을 탑재해 도어 개방 작업 시 신속한 청결 회복을 보장한다. 온도 조절 범위는 50~300℃이며 변동폭은 ±1℃ 이하입니다. 정밀 제조 분야에서 미립자 오염에 민감한 건조 공정에 적합합니다. 주로 전자, 집적 회로, COB 검정 접착제 건조 및 경화, 디스플레이, 칩, LCD, CMOS, IS 및 제약 산업에 사용됩니다. 높은 환경 청정도가 요구되는 고온 테스트에도 사용할 수 있습니다. 위 산업분야의 품목에 대한 건조, 열처리, 열노화, 고온시험, 경화 등에 필수적인 장비입니다.
① 내장된 고효율 HEPA/ULPA 필터는 1μm 입자에 대해 최대 99.99%의 여과 효율을 제공하여 챔버 내 지속적인 ISO 클래스 5(클래스 100) 청결을 보장하고 정밀 공정의 엄격한 요구 사항을 충족합니다.
② 첨단 유체 역학 설계와 고성능 팬을 활용하여 챔버 내부의 뜨거운 공기의 수직 층류 순환을 달성하여 작업 영역에서 ±1.5℃ 이하의 온도 균일성을 보장합니다.
③ 모든 내벽은 둥근 모서리, 이음매 없는 용접, 전해연마 처리로 세정 불감대 및 파티클 축적 위험을 근본적으로 제거하여 공정 순도를 보장합니다.
④ 컬러 터치스크린과 다중 세그먼트 프로그래밍 가능 PLC 컨트롤러를 갖추고 있어 가열, 항온 및 냉각 곡선을 정밀하게 설정할 수 있어 복잡한 프로세스에 대한 완전 자동화 및 데이터 추적이 가능합니다.
⑤ 코어 챔버는 일반적으로 SUS304 브러시드 스테인레스 스틸로 제작되어 우수한 고온 및 내식성을 가지며 특히 반도체 및 포토레지스트와 같은 민감한 공정에 적합합니다.
⑥ 고온에 견디는 원심팬과 정밀한 공기 유도 시스템으로 구성되어 소재의 모든 표면에 빠르고 균일한 열 전달을 보장하여 건조 효율성과 일관성을 크게 향상시킵니다.
7 실리콘 고무나 불소고무 재질의 이중 씰링 스트립을 활용하고 공압식 잠금 장치를 보완하여 외부 오염 공기 침입을 효과적으로 차단하는 동시에 내부 공정 분위기의 안정성을 보장합니다.
⑧ 과열 보호, 과전류 보호, 팬 인터록, 누수 보호 등 여러 하드웨어 및 소프트웨어 안전 회로를 통합하여 장비 및 제품의 장기간 안정적인 작동을 위한 강력한 보호 기능을 제공합니다.
⑩ 내부챔버 경면연마 및 고온 베이킹 제염처리를 통해 고온 운전 시 장비에서 발생할 수 있는 휘발성 유기화합물을 대폭 감소시킵니다.
⑩ 고성능 단열재와 최적화된 히터 레이아웃을 사용하고 PID 적응형 전력 조정 알고리즘을 결합하여 신속한 가열과 정밀한 온도 제어를 구현하는 동시에 에너지 소비를 효과적으로 줄입니다.
⑪ 선택적인 질소 또는 기타 불활성 가스 인터페이스와 챔버 미세 양압 제어 시스템을 사용하여 산소나 습기에 민감한 공정에 탁월한 무산소 건조 환경을 조성할 수 있습니다.
⑫ 필터, 팬, 히터와 같은 핵심 모듈은 표준화된 빠른 릴리스 구조를 채택하여 일상적인 유지 관리, 청소 및 예비 부품 교체 프로세스를 크게 단순화하고 가동 중지 시간을 줄입니다. ⑬ 독립적인 챔버 환경과 효율적인 여과 시스템은 서로 다른 배치의 재료 간의 교차 오염을 효과적으로 방지하므로 특히 다양한 품종 및 소규모 배치의 R&D 및 생산에 적합합니다.
⑭ 우수한 청정도와 온도조절 성능으로 반도체 칩 제조, MEMS 패키징, 바이오의약품, 정밀광학 등 첨단산업의 첨단분야에 매우 적합합니다.
⑮ 보장된 애프터 서비스: 전국 대부분의 지역을 포괄하는 포괄적인 애프터 서비스 네트워크는 사용자가 걱정 없이 사용할 수 있도록 보장합니다(참고: 극소수의 외딴 도시 및 마을 제외).
⑯기술 지원 솔루션: 동영상, 전화, 온라인 동영상 튜토리얼 등 다방면의 기술 지침을 제공하고, 장비 성능과 작동 방법을 직관적으로 시연하여 사용자가 장비를 빠르게 익힐 수 있도록 돕습니다.
① 외부 쉘 재질: 엄선된 고품질 냉간 압연 강판(Q235)을 사용하고 CNC 기술을 사용하여 정밀 성형되었습니다. 표면은 인산염 처리 및 정전기 방지 분체 코팅으로 처리되어 견고한 외피를 형성합니다. 정전기 방지, 부식 방지, 긁힘 방지 기능이 있어 오래 지속되는 품질을 보장합니다.
② 작업실 : 두꺼운 SUS304 스테인리스 스틸로 제작되어 고온 안정성과 내식성이 우수하고 표면이 매끄러워 청소가 용이합니다.
③ 제어판: 온도, 시간 등 주요 데이터를 실시간으로 높은 정확도로 표시하는 고급 컬러 스크린 컨트롤러입니다. 지능형 결함 진단 및 경보 기능을 갖추고 있어 직관적인 인간-기계 상호 작용과 손끝에서의 완벽한 제어를 제공합니다.
④ 순환 시스템: 강력한 터빈 팬과 과학적인 기류 설계를 활용하여 고속 열기 순환을 달성하고 작업실 내부의 우수한 온도 균일성을 보장하며 국부적인 과열을 방지하고 건조 효율성과 처리 일관성을 크게 향상시킵니다.
⑤ 과열 보호 및 과부하 보호와 같은 다중 안전 메커니즘을 갖추고 있어 장기간 안정적인 작동을 보장하며 연구용 고주파 사용에 적합합니다.
⑥ 단열층 : 외피와 작업실 사이의 공간을 75mm 두께의 고순도 세라믹섬유면(Al2O₃)으로 채워 보온성이 우수하고 열손실을 대폭 감소시키며 일정한 온도를 보장하고 높은 에너지 효율을 달성합니다.
7 도어 씰: 오랫동안 열 산화 노화를 견딜 수 있고 탄력성과 밀봉 무결성을 유지하며 효과적으로 열 손실을 방지하고 작업실 온도의 안정성을 보장합니다.
⑧ 가열관 : 스테인리스 스틸과 고저항 전열합금선으로 제작되어 열효율이 95% 이상입니다. 통합 설계는 우수한 절연성, 내식성 및 내산화성을 제공하여 고온, 습하고 부식성 산업 환경에 적합하며 긴 수명과 안정적인 성능을 보장합니다.
9 선반: 표준 구성에는 표면 경화 처리된 고내식성 크롬 도금 메쉬 선반이 포함되어 있어 내산화성, 내산성 및 내알칼리성, 안정적인 하중 지지력을 제공합니다. 스테인레스 스틸, 합금, 테플론을 포함한 다양한 재료와 구멍 유형의 유연한 맞춤화를 지원하여 제약, 전자 및 과학 연구의 까다로운 응용 분야에 완벽하게 일치하며 고급 건조 공정을 위한 정확하고 안정적인 하중 지지 솔루션을 제공합니다.
⑩ 일부 대용량 모델에는 고성능 저소음 범용 휠이 장착되어 유연한 움직임과 안정적인 위치 지정이 결합되어 정밀 실험실 및 고급 산업 환경에 적합하며 상세한 기술과 사용자 친화적인 디자인을 선보입니다.
① 고급 PID 알고리즘과 다중 세그먼트 프로그래밍 가능 컨트롤러를 채택하여 복잡한 가열, 항온 및 냉각 곡선을 정밀하게 설정하고 자동으로 실행할 수 있습니다. 프로그램 모드와 고정 값 모드를 자유롭게 전환할 수 있어 프로세스의 반복성과 신뢰성이 보장됩니다.
② 대형 고화질 터치스크린이 장착되어 직관적인 그래픽 작동 경험, 모든 작동 매개변수, 장비 상태 및 실시간 곡선의 실시간 동적 표시를 제공하여 작동 프로세스를 단순화합니다.
③ 다점 온도 센서가 통합되어 있으며 기압 및 이슬점(습도) 모니터링 모듈로 확장 가능하며 챔버 내부 환경에 대한 포괄적인 실시간 모니터링을 제공하여 안정적인 공정 조건을 보장합니다.
④ 팬 동작 및 고효율 필터 상태를 실시간 모니터링하여 난방시스템과 연동하여 안정적인 기류순환을 보장하고 청정도 100등급을 유지하여 미세먼지 오염을 방지합니다.
⑤ 질소와 같은 불활성 가스의 유량과 챔버 내부 압력을 정밀하게 제어하기 위한 질량 유량 컨트롤러(MFC) 및 미세 양압 제어 시스템(옵션)으로 민감한 공정에 보호 분위기를 제공합니다.
⑥ 모든 공정 매개변수, 곡선 및 경보 이벤트를 자동으로 기록하는 대용량 저장 칩이 내장되어 엄격한 품질 관리 표준을 충족하기 위해 데이터 내보내기 및 감사 추적을 지원합니다.
⑦ 독립적인 과열 보호 장치, 누수 보호 장치, 팬 과부하 보호 장치, 도어 인터록 스위치 및 기타 하드웨어 회로를 통합하여 하드웨어와 소프트웨어를 결합한 다층 안전 장벽을 구축합니다.
⑧ 이더넷 및 RS-485 통신 인터페이스를 갖춘 표준 구성으로 원격 모니터링 및 데이터 수집을 지원하고 공장 MES 시스템과 통합이 가능하여 스마트 공장의 기반을 마련합니다.
9 관리자와 운영자 권한을 구별하는 다단계 비밀번호 권한 설정을 지원하여 무단 매개변수 수정을 효과적으로 방지하고 핵심 프로세스 레시피 및 장비 작동의 보안을 보장합니다.
⑩ 종합적인 시스템 자체 점검 기능을 갖추고 있어 실시간으로 비정상적인 상태를 진단하고 정확하게 찾아낼 수 있으며, 시청각 경보를 발령하고 결함 정보를 표시하여 유지 관리 효율성을 크게 향상시킵니다.
| 모델 | DEP-185HD | DEP-275HD | DEP-485HD | DEP-985HD |
| 컨트롤러 | 통합 PLC(그룹 100개/그룹당 세그먼트 100개) | |||
| 인간-기계 인터페이스(HMI) | 7인치 터치스크린 | |||
| 청결등급 | 클래스 100 | |||
| 온도 범위 | 상온 10~250℃ | |||
| 온도 균일성 | ±2.5%℃ | |||
| 온도 변동 | ≤±1℃ | |||
| 챔버 입자 농도 | 1um≤8320pc/m3 | |||
| 타이머 범위 | 0~9999분 | |||
| 필터 | H14 고온 HEPA 필터 | |||
| 출입 통제 시스템 | 전자기 잠금장치(인터록) | |||
| 필터 Dimensions (mm) | 480x350x90 | |||
| 정격 기류 | 650m3/h | |||
| 챔버 치수(mm) | 600x500x600 | 600*500*900 | 800*600*1000 | 1000*700*1400 |
| 외부 치수(mm) | 965x1240x1510 | 965x1240x1810 | 1290x965x1790 | 1950x1055x1790 |
| 볼륨 | 180L | 270L | 480L | 980L |
| 전원공급장치 | AC220V/18A | 220V/20A | 380V/18A | 380V/30A |
| 정격 출력 | 3.5KW | 4KW | 6KW | 9KW |
| 총중량 / 순중량 | 300/255KG | 350/320KG | 490/450KG | 810/730KG |
| 표준 선반 | 2 | |||
| 운영 환경 | 0~45℃ | |||
| 아니요. | 이름 | 매개변수 | 참고 사진 |
| 1 | 질량유량 컨트롤러 | ① 0~30L/min | |
| 2 | 독립적인 과열 제한기 | ① 온도 오버슈트 및 폭주에 대한 2차 보호 | |
| 3 | 내장 프린터 | ① 실시간 인쇄 | |
| 4 | 테스트 포트 | ① 재질 : 스테인레스 스틸 베이클라이트 | |
| 5 | 다점 온도 기록계 | ① 채널 6개 | |
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2026/03/09
2026/03/02
2026/02/24
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