본 장비는 접착제 도포 전 웨이퍼 전처리에 적합한 장비입니다. 시스템은 챔버, 진공 시스템, 가열 시스템, 질소 퍼지 시스템, 액체 분배 시스템 및 제어 시스템으로 구성됩니다. 다중 진공 사이클과 150°C 고온 질소 가열을 통해 장비는 웨이퍼 표면을 효과적으로 건조 및 세척하여 불순물의 산화 및 확산을 방지합니다. 액체 디스펜싱 시스템은 HDMS 보호 필름을 웨이퍼 표면에 적용할 수 있어 뛰어난 접착 적용 특성을 제공합니다. 수동 HMDS 코팅과 비교하여 이 시스템은 우수한 반복성, 화학 물질 소비 감소, 환경 친화성 및 인체 건강 안전과 같은 중요한 이점을 제공합니다. 다른 공정에서 웨이퍼를 청소하는 데에도 사용할 수 있습니다. 제어 시스템은 PLC를 사용하고 인간-기계 인터페이스는 터치 스크린을 사용하여 높은 신뢰성, 조작 용이성 및 직관적인 제어를 제공합니다.
반도체(칩/집적 회로) 제조 공정에서 포토리소그래피는 집적 회로 패턴 전사의 중요한 단계입니다. 포토레지스트 코팅의 품질은 포토리소그래피의 품질에 직접적인 영향을 미치므로 코팅 공정이 특히 중요합니다. 포토리소그래피에 사용되는 대부분의 포토레지스트는 소수성인 반면, 실리콘 웨이퍼 표면의 수산기 그룹과 잔류 물 분자는 친수성입니다. 이는 특히 포지티브 포토레지스트의 경우 포토레지스트와 실리콘 웨이퍼 사이의 접착력이 불량해지는 결과를 낳습니다. 현상 과정에서 현상액이 포토레지스트와 실리콘 웨이퍼 사이의 계면에 침투하여 포토레지스트가 벗겨지거나 뜨는 등의 현상이 쉽게 발생하여 포토리소그래픽 패턴 전사가 실패할 수 있습니다. 동시에, 습식 에칭은 측면 에칭이 발생하기 쉽습니다. HMDS 전처리 시스템으로 전처리한 후, 실록산 기반 화합물이 기판 표면에 코팅됩니다. 웨이퍼 표면은 친수성에서 소수성으로 변화하여 접촉각이 감소하고 필요한 포토레지스트의 양이 감소하며 포토레지스트에 대한 접착력이 향상됩니다. 이를 통해 현상 과정에서 측면 식각 및 패턴 드리프트를 억제하고, 포토레지스트 접착력을 향상시키며, 열악한 환경에서 소재의 내식성을 높여 제품 품질을 대폭 향상시키고 불량률을 낮춥니다.
프로세스 목표:
장비는 PLC 제어를 사용하여 완전 자동으로 작동합니다. 기판을 고온 베이킹하여 표면 수분을 제거하고 진공 건조 및 질소 보호 기술을 결합하여 웨이퍼 표면의 수분 및 오염 물질을 제거하고 산화 및 불순물 확산을 방지하며 코팅 전 청결을 보장하는 공정이 포함됩니다. 그런 다음 HMDS(헥사메틸디실라잔 C6H19NSi2) 가스가 도입됩니다. 고온에서는 기판 표면과 HMDS가 완전히 반응하여 주로 실록산으로 구성된 화합물을 형성합니다. 이는 기판 표면을 친수성에서 소수성으로 변화시켜 소수성 그룹이 포토레지스트와 잘 결합하여 커플링제 역할을 하도록 합니다.
프로세스 흐름:
먼저, 진공 펌프를 켜서 진공 청소를 시작합니다. 챔버의 진공 수준이 설정 값(이 값은 진공 게이지의 P2 값을 변경하여 설정할 수 있음, 진공 게이지 설명서 참조)에 도달하면 질소가 도입됩니다. 설정된 진공 수준(이 값은 진공 게이지의 P1 값을 변경하여 설정할 수 있음)에 도달한 후 진공 청소 및 질소 도입 과정이 반복됩니다. 설정된 질소 투입 횟수에 도달한 후 다시 진공 청소를 시작하고 이어서 약액을 투입합니다. 설정된 시간이 지나면 약액 투입이 중단되고 유지 단계가 시작됩니다. 설정된 유지 시간이 지나면 설정된 사이클 수 동안 진공 청소 및 질소 도입이 다시 시작됩니다. 시스템이 자동으로 프로세스를 완료하면 웨이퍼 제거 준비가 완료되었음을 알리는 시청각 경보가 제공됩니다.
① 외부 쉘 재질: 엄선된 고품질 냉간 압연 강판(Q235)을 사용하고 CNC 가공으로 정밀하게 성형합니다. 표면은 인산염 처리 및 정전기 방지 분체 코팅으로 처리되어 견고한 외피를 만듭니다. 정전기 방지, 부식 방지, 긁힘 방지 기능이 있어 지속적인 품질을 보장합니다.
② 내부 챔버 : 내부 챔버는 304 브러시 스테인레스 스틸로 만들어졌으며 재료 인증 (재료 보고서 사용 가능), 부식 방지 및 청소가 쉽습니다.
③ 제어판: 온도, 시간 등 주요 매개변수를 실시간으로 표시하는 고급 컬러 터치스크린 컨트롤러입니다. 지능형 오류 및 경보 정보 프롬프트는 명확하고 직관적인 제어를 제공합니다.
④ 관찰창: 외부 8mm, 내부 20mm 이중 강화유리를 사용하여 내열성이 높고 투명도가 높은 파노라마형 광각 관찰창으로 챔버 내부 전체를 실시간으로 선명하게 표시하여 실험 상태를 한눈에 알 수 있습니다.
⑤ 선반: 표준 크롬 도금 부식 방지 메쉬 선반으로, 다양한 실험 요구에 유연하게 적응할 수 있도록 다양한 재료와 구조로도 제공됩니다.
⑥ 단열층 : 외피와 작업실 사이의 공간은 80mm 두께의 고순도 세라믹 섬유면(Al2O₃)으로 채워져 있어 우수한 단열성을 제공하고 열 손실을 크게 줄여 일정한 온도 안정성을 보장하며 높은 에너지 효율을 제공합니다.
7 씰링 스트립: 맞춤형 실리콘 고무 씰링 링이 장착되어 있으며 원주 볼록한 라인 구조와 독특한 활성 진공 차단 씰링 기술이 적용되어 있습니다. 압력 해제 중에 즉시 채널을 형성하여 진공 차단 효율을 크게 향상시키고 압력 해제 후 도어를 쉽게 열 수 있도록 보장합니다.
⑧ 가열 튜브: 맞춤형 초장수명 SUS304 스테인레스 스틸 가열 튜브, 옵션 선반/주변 가열 구조, 공정에 정확하게 적용되어 균일하고 효율적인 가열을 보장합니다.
9 입구/출구 밸브: 모든 구리 진공 밸브, 작동이 쉽고 민감하며 안정적인 밀봉;
① 이 시스템은 미리 설정된 매개변수에 따라 항온, 고진공 및 불활성 가스 퍼지의 프로그래밍된 주기를 자동으로 실행합니다. 액체 주입 시기와 압력 유지 시기를 정밀하게 제어합니다. 프로세스가 완료되면 시청각 신호를 제공합니다.
② 컬러 터치스크린: 표준 컬러 스크린과 터치 컨트롤을 갖추고 있으며 설정 온도, 작동 온도, 항온 시간, 고장 정보 등의 매개변수를 단일 화면에 표시합니다. 응답 속도 및 온도 오버슈트 억제와 같은 기능을 사용하여 PID 매개변수의 동적 조정;
③ 과열 편차 보호, 과속 보호 및 터치 스크린 디스플레이 기능을 갖춘 마이크로컴퓨터 P.I.D 온도 컨트롤러를 사용하며 타이밍 기능을 포함합니다.
④ 다중 타이밍 모드: 1. 타이밍 단위는 분과 시간 사이에서 자유롭게 전환될 수 있습니다. 2. 두 가지 타이밍 모드: 전원을 켤 때의 타이밍과 일정한 온도에 도달한 후의 타이밍;
⑤ 안정적이고 신뢰할 수 있는 고정밀 저항 실리콘 진공 센서가 장착되어 있으며 챔버 내부의 진공도를 실시간으로 감지하여 정확한 데이터 지원과 정밀한 공정을 보장합니다.
⑥ 안정적인 데이터 처리 기능을 갖춘 업그레이드된 음향 및 조명 경보 환경 스캐닝 마이크로컴퓨터 칩;
7 기능에는 과열 경보, 과열 가열 차단, 시간 종료, 전원 복구, 매개변수 메모리, 온도 보정 및 자체 조정이 포함됩니다.
⑧ 정전 복구 기능: 외부 전원 공급 장치가 갑자기 중단되었다가 복원된 경우 장비는 원래 설정된 프로그램에 따라 자동으로 작동을 재개할 수 있습니다.
⑩ 셀프 튜닝: 주변 온도 변화로 인해 온도 제어 정확도가 부정확할 경우 셀프 튜닝을 수행하여 온도를 보다 정밀하게 만들 수 있습니다.
⑩ 여러 모드를 자유롭게 전환할 수 있습니다: 고정 값 모드/타이밍 모드 전환.
| 모델 | DEP-HMDS50 | DEP-HMDS50 | DEP-HMDS150 |
| 제어 시스템 | PLC 산업용 컴퓨터 | ||
| 인간-컴퓨터 상호작용 | 7인치 컬러 터치스크린 컨트롤러 | ||
| 온도 센서 | PT100 플래티넘 RTD | ||
| 온도 범위 | 상온 10~200℃ | ||
| 온도 분해능 | 0.1℃ | ||
| 온도 변동 | ≤±0.5℃ | ||
| 타이머 범위 | 0~9999분 | ||
| 프로그램 그룹 | 100개 그룹 / 그룹당 100개 세그먼트 | ||
| 데이터 보안 | 레벨 3 액세스 제어, 감사 추적 | ||
| 지능형 보안 | 전원 켜기 자가 테스트, 과열 경보 및 가열 차단, 온도 센서 편차 보정, 화면 잠금. | ||
| 타이밍 방향 | 카운트업/카운트다운 | ||
| 타이밍 단위 | 분/시간 | ||
| 진공 게이지 | 저항성 실리콘 진공 게이지 | ||
| 궁극의 진공 | 100Pa 이하 | ||
| 펌핑 속도 | 2L/초 | ||
| 전원 전압 | AC220V/50Hz | 220V/18A | 220V/18A |
| 정격 출력 | 2KW | 3KW | 3.2KW |
| 내부 치수 | 410x370x345mm | 450x450x450mm | 500x500x600mm |
| 외부 치수 | 610x525x1285mm | 660x590x1470mm | 670x650x1630mm |
| 볼륨 | 52L | 91L | 150L |
| 표준 선반 | 2 | 2 | 3 |
| 총중량/순중량 | 152/138KG | 185/165KG | 235/205KG |
| 아니요. | 이름 | 매개변수 | 참고 사진 |
| 1 | 스크롤 진공 펌프 | ① 오일프리 펌프 | |
| 2 | 오일미스트 필터 | ① 진공펌프에서 나오는 오일미스트를 필터링 |  |
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